Imprimante de modèle sous la forme de
L'impression au pochoir peut avoir deux formes, l'une est le pochoir de sérigraphie, l'autre est l'impression au pochoir creux.
Masque d'écran est formé sur le masque de masque, peindre à travers la sérigraphie sur le substrat; le gabarit creux est formé dans le gabarit sur le modèle creux, peindre à travers l'impression graphique creuse au substrat. De toute évidence, le pochoir de l'écran en raison de la prise en charge de maillage, il ne peut y avoir aucune connexion sur le dessus du modèle, et le pochoir creux doit tenir compte du problème de connexion graphique creux.
L'impression au pochoir d'écran est une technologie d'impression traditionnelle de l'industrie T pour la sérigraphie dans le traitement micro-nano. Ce n'est rien de plus que de rendre le motif sur le pochoir plus petit et le maillage de l'écran plus mince. Cependant, en raison de la limite de maillage de l'écran lui-même, le motif de sérigraphie est habituellement de plusieurs dizaines de micromètres ou plus de plusieurs centaines de micromètres. Le motif sur l'écran peut être formé par la méthode d'exposition optique de la résine photosensible. Après le développement de la résine photosensible, l'écran est naturellement formé. La sérigraphie a l'avantage unique de fabriquer des dispositifs piézoélectriques à film épais. Du fait que le matériau piézoélectrique est principalement du titanate de plomb et de zirconium (PZT), le matériau PZT ne peut pas être déposé par les méthodes physiques ou chimiques ci-dessus, et il ne peut pas non plus être transformé en un motif par des procédés de gravure traditionnels. En utilisant la méthode de sérigraphie, PZT peut être transformé en une suspension, puis peint sur un masque d'écran. De cette manière, un film PZT plus épais peut être obtenu. Et peut former la structure de motif PZT souhaitée. Cette technique a été largement utilisée pour fabriquer des micro-actionneurs pilotés par PZT ou des pompes microfluidiques et d'autres micro-dispositifs. La structure d'une telle taille de micro-dispositif est relativement grande, la résolution de résolution d'impression d'écran peut faire exactement.
L'impression au pochoir creux est également une technologie d'impression industrielle traditionnelle. L'impression au pochoir creux et l'impression au pochoir sont différentes du matériau imprimé directement à travers le dépôt de la zone creuse sur le substrat. Il peut être appliqué par sérigraphie, ou par évaporation thermique à la surface du substrat à travers la région creuse. Par exemple, le matériau métallique est évaporé et déposé sur la surface du substrat pour former un motif métallique.
